bo-dieu-khien-luu-luong-ex-250s.png
Chi phí thấp hơn nhưng đo lường chính xác cao.          
Đáp ứng tốc độ cao và độ ổn định bằng không.          
Tín hiệu đầu vào / đầu ra 0-5VDC hoặc 4-20mA và nguồn điện +/- 15VDC hoặc 24VDC.          
Tầm thường D-sub 9pin.            
Khí được đăng ký trong EX-250S có thể sử dụng bằng công tắc xoay.          
* Tính tốc độ dòng chảy với hệ số chuyển đổi dựa trên khí N2.          
Tuân thủ RoHS, đánh dấu CE.            
Model Bộ điều khiển lưu lượng lớn Bộ điều khiển lưu lượng lớn        
EX-250SC EX-250SM        
Loại cảm biến Cảm biến nhiệt        
Valve type Van điện từ tỷ lệ thường đóng -        
Khí áp dụng(*1) N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 etc.        
(Khí ga không được đề cập cụ thể ở đây có thể được thay thế hiệu chuẩn cho khí N2 tương đương)        
Tầm đo(*2) 10SCCM ~ 5SLM        
Tầm kiểm soát 2 ~ 100%(F.S.)        
Độ phản hồi ≤ 1 giây (trong vòng ± 2%F.S.)(*8)        
Độ chính xác(*3) ± 1.0%F.S.        
Độ lặp lại ± 0.2%F.S.        
Áp suất làm việc chênh lệch(*4) 50 ~ 300kPa(Ar、CO2:100kPa ~ 300kPa) -        
Áp suất vào tối đa 500kPa(G)        
Áp suất chịu đựng 980kPa(G)        
Tốc độ rò rỉ bên ngoài(He) ≤ 1.0 × 10-8Pa・m3/sec         
Nhiệt độ Nhiệt độ làm việc 5 ~ 50℃        
Độ chính xác đảm bảo tạm thời 15 ~ 35℃        
Nhiệt độ lưu trữ cho phép -10 ~ 60℃        
Độ ẩm hoạt động cho phép 10 ~ 90%RH (không ngưng tụ sương )        
Vật liệu của phần tiếp xúc khí ga SUS316, SUS316L, magnetic stainless steel(*5), PTFE, FKM        
Phần kết nối điện Dsub 9pin tiêu chuẩnKFC Standard(tuân thủ tiêu chuẩn SEMI )        
HR-10A        
Chi phí thấp hơn nhưng đo lường chính xác cao. 0~5VDC(input impedance: approx. 1M Ω) -        
or 4~20mA(input impedance: approx. 250 Ω)        
Tín hiệu tốc độ lưu lượng ra 0 ~ 5VDC( tải trở ≧10k Ω)        
or 4 ~ 20mA( tải trở ≧500 Ω)        
Giao tiếp kỹ thuật số RS485 công tắc xoay cài vị trí        
Nguồn(DC) +15VDC( ± 5%)100mA , -15VDC(± 5%)150mA         
or +24VDC(± 10%) ≤180mA  (MFM would be ≤100mA)        
Khớp nối(*6) 1/4F900(tiêu chuẩn)        
Tư thế lắp đặt  Khuyến nghị lắp đặt ngang.        
Cân nặng(*7) Xuất xỉ.500g Ap        
(*1)Khí ga phải khô và sạc, không chứa các thành phần ăn mòn và các chất lạ như bụi và hơi nước 
The gases must be dry and clean, free of corrosive components and foreign matter such as dust and mist.
       
(*2) Đơn vị hiêu chuẩn tỉ lệ dòng chảy SCCM và SLM hiện thị  tỉ lệ dòng chảy được chuyển đổi sang tốc độ dòng chảy tính bằng cc/phút và L/phút ở  0°C and 1 atm.  
(*3) Độc chính xác cho khí hiệu chuẩn: N2, phạm vi lưu lượng(tối đa toàn tầm đo).          
(*4) Áp suất làm việc chênh lệch có thể khách nhau tùy thuộc vào đặc điểm kỹ thuật          
(*5) Lưu lượng kế lớn không chứa thép không rỉ từ tính          
(*6) Liên hệ với chúng tôi khi có bất cứ khớp nối khác          
(*7) Trọng lượng duy nhất của khớp nối          
(*8) Cần có điều khiển áp suất khi đặt hàng